高スループット検査用対物レンズ
※エビデントより画像提供
MX Plan Semi Apochromat対物レンズは、改良された開口数と長い距離を兼ね備えています。 3mmの作業距離により、対物レンズがサンプルに当たる可能性を減らしながらステージを移動させることができ、ウェハ検査の生産性を向上させます。
