レーザー走査型顕微鏡 LEXT OLS5100

LEXT OLS5100

製品説明

LEXT OLS5100は、非接触・非破壊で微細な3D形状の観察・測定が可能なレーザー顕微鏡です。 サブミクロンオーダーの微細な形状測定に優れ、スタートボタンを押すだけでオペレーターの習熟度に左右されない測定結果を得ることができます。 また、新開発の『実験トータルアシスト』により、実験計画作成からデータ取得・解析、分析・データ出力までを一括管理することで、人為的なミスを低減し、手戻りを防ぎます。ISO/IEC 17025認定校正に対応しています。 見積もり依頼

製品概要

洗練されたツールで、測定・解析を迅速に ●レーザー顕微鏡の新時代。実験準備からレポート作成まで、トータルでサポートするツールへ進化 ・誰でも業界最高レベルの測定性能を ・設定不要でスピーディーで高精度な測定を ・実験準備から分析・レポート作成までをこの1台で ●誰でも業界最高レベルの測定性能を※1 LEXT専用レンズにより信頼性の高い測定結果を得られます。スマートレンズアドバイザーが、サンプルに適したレンズ選定をアシストします。 ・視野の全領域を正しくとらえるLEXT専用レンズ: 波長405nmに適応し、収差を極限まで抑えた専用レンズを10～100倍までラインアップ。従来の高性能タイプに加え、低倍タイプと長作動距離タイプが新たに加わりました。すべてのLEXT専用レンズは測定性能が保証されていますので、サンプルに応じて最適なレンズを安心して選択できます。 ・表面粗さ測定に最適なレンズ選択をアシストする「スマートレンズアドバイザー」 ※1 精度保証値は、当社指定の条件での特性および値です。 ●設定不要で高精度な測定を 測りたいサンプルをステージにおいて、スタートボタンを押すだけ。誰でも高精度な測定結果が得られます。 ・独自のアルゴリズムにより、測定結果の精度と測定スピードの向上を両立 ・オペレーターの習熟度に依存した調整作業をスマートスキャンIIにより完全自動化。スタートボタンを押すだけで高精度かつスピーディーな測定が可能。 ・お客様の使用環境下で測定性能を保証 ※2 ・世界初 ※3 ISO/IEC 17025認定校正ソリューション ※2 精度保証値は、当社指定の条件での特性および値です。 ※3 2023年4月時点、当社調べによる。一部の国では対応していません。 ●実験準備から分析・レポート作成までをこの1台で 実験検証のワークフローを革新。実験準備からレポート作成にかかる時間を30%削減※します。 ・マクロ機能との連携により解析ワークフローを自動化 ・測定データを簡単に整理ができ、データ取得漏れも防止 ・画像ファイル名は測定条件に基づき自動生成 ・測定結果を一覧表示、一目で合否判定が可能 ※弊社従来機（OLS5000）比 ●仕様に合わせて完全たカスタマイズ可能をサポート 大型サンプルや重いサンプルの材料解析用向けに、OLS5100 3D測定レーザー走査型顕微鏡のあらゆる多彩な先進機能を導入でき活用いただけます。 ●レーザー顕微鏡の3つの特長 1. サブミクロンオーダーの3D観察・測定 2. JIS B0681 (ISO25178) に準拠した表面粗さ測定 3. 非接触、非破壊、スピーディー ●スタートボタンを押すだけで、誰でも同じアウトプット ・スマートスキャンII 測りたいサンプルをステージにおいて、スタートボタンを押すだけ。光検出感度やデータ取得範囲設定などの手動操作を不要としたスマートスキャンⅡで、誰でも高精度な測定結果が得られます。 ・スマートスキャンIIがスマートな理由 PEAKアルゴリズム： 3Dデータ構築にPEAKアルゴリズムを搭載。低倍率から高倍率まで高精度なデータが得られるだけでなく、データ取得時間を大幅に短縮できます。 スキップスキャン: 垂直に近い面を含んだサンプルの段差形状測定時に、Z方向の不要なスキャン範囲をスキップすることでデータ取得時間を大幅に短縮可能です。精度を落とすことなく100μmの段差なら約10秒で測定可能です。 HDRスキャン： サンプルに応じて検出感度を変えて取得した２組の形状データから自動判断して正確なデータを構築します。 ●使用環境下で精度保証 ・正確さと繰り返し性をダブル保証 測定機器としての性能は「正確性」と「繰り返し性」で表されます。「正確性」は真の値にどれだけ近いかを意味し、「繰り返し性」は複数回の測定でいかに変動が少ないかを表すものです。OLS5100は全LEXT専用レンズの全ズーム倍率で、お客様の環境下で「正確性」と「繰り返し性」を保証します。 ・貼り合わせデータの正確さを保証 OLS5100は、電動ステージに測長モジュールを搭載し、レーザー顕微鏡として業界で初めて貼り合わせデータの正確さを保証しています。従来のレーザー顕微鏡は、取得データのパターンマッチング処理でデータを繋ぎ合せていました。OLS5100は、パターンマッチング処理に加え、測長モジュールの位置情報も使うことで、正確さが保証された信頼性のある貼り合わせデータを提供します。 貼り合わせ測定のISO/IEC 17025認定校正も可能です。 ※OLS5100-SAT／EATのみです。 ●シンプル操作の高解像・高倍率観察 ・コンティニュアスAF OLS5100は、レーザー顕微鏡で初めてコンティニュアスAFを搭載しました。場所探し、レンズの切り替え等でも自動追従しますのでピント合わせの作業はもう不要です。スピーディーで確実な観察が可能です。 ・二つの微分干渉によるナノレベルのリアルタイム観察 微分干渉（DIC）観察は、5xや10xの低倍率のレンズでもレーザー顕微鏡の分解能を超えたナノレベルの微小凹凸を可視化する観察方法です。これにより、低倍率のライブ観察でも電子顕微鏡の分解能に迫る画像が得られます。OLS5100は、ナノレベルのパターン、欠陥がリアルタイムで観察できるので微細な傷も特定可能です。 ●豊富な解析機能 OLS5100は多くの解析機能を提供しています。詳細はカタログをダウンロードもしくはお近くのエビデント販売店にお問い合わせください。 ・JIS B0681（ISO25178）に準拠した面粗さ測定 OLS5100は、直径0.4μmのレーザー光でサンプル表面をスキャンします。触針式表面粗さ測定機では不可能な柔軟性や粘着性のあるサンプルの表面粗さを簡単に測定できます。また、触針式粗さ測定機では測れない面のカラー画像、レーザー画像、3D形状データが一度に得られるため、解析の幅が格段に広がります。 ・プロファイル測定、測定アシストツール 画像の中から測りたい場所に自由に測定線を引くことで断面プロファイルを表示し、任意の2点間の段差、幅、断面積、Rなどを測定できます。従来の接触式測定機と異なり、測定場所の位置決めも簡単。測定アシストツールにより測りたいポイントを確実に指定できるので、微細な領域でも正確に測定できます。 ●ソフトウェア ・実験トータルアシスト 測定準備からレポート作成まで、一連の作業を効率化。実験計画に沿った画像取得や解析をサポート、かつ測定結果を一括管理 ・マクロ機能との連携により解析ワークフローを自動化 ・測定データを簡単に整理ができ、データ取得漏れも防止 ・画像ファイル名は測定条件に基づき自動生成 ・測定結果を一覧表示、一目で合否判定が可能 ●解析フローを全自動化 ・マクロ機能 データ取得から測定、レポート作成までの一連の検査フローを自動化できます。あらかじめ作成したマクロファイルを読み出し実行するだけで、誰でも安定した測定結果を得ることができ、さらにワンクリックで合否判定を行うことも可能です。 ●データ整理を効率化 ・かんたんデータ整理 あらかじめ実験条件が決まっていなくてもデータの取得を始めることができ、検証をしながらデータの整理ができます。実験途中での条件の変更やドラッグ＆ドロップで簡単に画像や解析データの追加も可能です。ユーザーのワークフローに合わせた柔軟な実験をサポートします。 ・取得データ一覧表示 作成した実験計画に沿ってデータ取得、結果の確認ができるので、データ取得のミスを低減します。また、測定データはExcel形式やCSV形式の出力にも対応し、柔軟なデータ活用が可能です。 ●ファイル名の入力不要 ・ファイル名自動生成 画像ファイル名は、実験計画作成時に入力した測定条件に基づき自動生成されます。そのため、画像取得後にファイル名を入力する必要がありません。 ●測定結果が一目でわかる ・公差判定 設定した公差に応じて、合否が一目で確認可能です。サンプルの歩留まりをみて、しきい値を変えながら公差の検証ができます。 ・ヒートマップ表示 測定値を色で表現することにより、取得したデータの傾向が一目で分かります。また、ヒートマップの色や割合は変更可能なため、取得したデータに合わせて見やすく表示ができます。 ●複数の取得データを比較解析 ・まとめて解析 複数の取得データを並べて表示して、表示スケール、3D表示の角度設定の統一、画像補正や解析をまとめて行うことが可能です。加工条件の異なる複数のサンプル形状解析、不良品の原因解析等に有効です。各種画像、プロファイルや数値結果は、エクセル形式にもエクスポートできるため、解析したい項目を素早く並べて評価できます。

仕様